催化剂式PFC分解装置"HICDS"

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• 具有高度分解所有PFC气体的性能→保证值：>99%、一年（PFC浓度<1%）。
• 由于是低温分解，实现了设备的低成本运转。
• 众多的销售实绩（交付：372台、取得订单：376台）。

PFC分解装置

催化剂的PFC分解性能

批量生产装置（CD-200）系统

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